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關(guān)于混合氣體的流量測量及控制

更新時間:2023-07-27      點擊次數(shù):1647

從科研實驗到工業(yè)制造,很多涉及氣體應(yīng)用的行業(yè)都可能會使用混合型氣體;而且在很多實際應(yīng)用中,需要進(jìn)行多種氣體定量混合配氣,將不同氣體按一定的比例混合到一起,配出不同濃度、多種組分的工藝氣體后才能更好的滿足工藝性能的要求。

      對于單一組分的氣體,選擇氣體質(zhì)量流量計進(jìn)行流量的測量和控制在眾多用氣行業(yè)中已經(jīng)有比較成熟的應(yīng)用了,尤其是氣體質(zhì)量流量控制器MFC在對氣體流量的一體化自動控制方面具有很明顯的優(yōu)勢,可以很好的實現(xiàn)跟電腦、上位機(jī)之間通過多種協(xié)議通訊,對氣體流量進(jìn)行精確的閉環(huán)控制。

      然而,氣體質(zhì)量流量計MFM及質(zhì)量流量控制器MFC本身也存在幾種不同的工藝原理,目前市場上主要有三種原理:熱式、差壓式、科里奧利(科氏)原理。

      對于混合氣體,如果知道具體的組分比例,則可以選擇熱式或差壓式;因為熱式和差壓式原理雖然是與氣體的質(zhì)量流量相關(guān),但是也會與氣體自身的其它特性相關(guān),所以需要知道具體是什么氣體或者混合氣體中每種氣體的大概比例,這樣測量出的流量值才會相對準(zhǔn)確。

      但在有些應(yīng)用中,有時候氣體源本身就是不確定的組分,例如組分較多的有機(jī)溶劑或者組分不明確的固體蒸發(fā)、揮發(fā)出的氣體,由多種單一氣體非定量混合后的氣體,以及一些工藝流程后排出的氣體等等。。。。這些混合氣體因為不知道其具體組分,但是又需要精確測量流量,則可以使用科里奧利(科氏)質(zhì)量流量計及質(zhì)量流量控制器;因為科氏原理的質(zhì)量流量計只與介質(zhì)的質(zhì)量相關(guān),與其它特性無關(guān),所以可以直接輸出質(zhì)量流量。

但是,科氏產(chǎn)品的造價相對于熱式和差壓式更高一些,所以在具體應(yīng)用中,如果成本預(yù)算有限,對測量結(jié)果要求不是很高,又知道混合氣體的主要成分,則可以考慮熱式或差壓式,但是如果對測量結(jié)果要求較高,或者混合氣體中并沒有很明顯的主要組分,那么科里奧利(科氏)原理的質(zhì)量流量計MFM及質(zhì)量流量控制器MFC還是最合適的選擇。


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