流量顯示儀用于為氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）和質(zhì)量流量計(jì)（MFM）提供工作電源、操作控制、流量設(shè)定和流量數(shù)字顯示等。

                      單通道流量顯示儀                                       多通道流量顯示儀       

目前市場上常見的流量顯示儀一般采用塑料機(jī)殼，體積較小，便于安裝。流量輸入輸出信號，一般是標(biāo)準(zhǔn)的 0~+5V 電壓信號或4~20mA的電流信號。

       有些流量顯示儀帶有流量設(shè)定和閥控功能，也叫流量顯示控制儀，這種顯示儀可與工作電源為±15V 的 或24V的MFC（或MFM）配套使用。

1、 基準(zhǔn)源和流量的設(shè)定

      以0~5V的電壓模擬信號為例，在顯示儀中設(shè)計(jì)有+5.00V 基準(zhǔn)電源，它加載到設(shè)定電位器上，通過操作者手動調(diào)節(jié)面板上的設(shè)定電位器，提供 0~5.00V 的設(shè)定電壓輸出給MFC，用來控制 MFC 的流量。該電源設(shè)計(jì)有開機(jī)軟啟動電路，當(dāng)顯示儀接通電源時，基準(zhǔn)源緩慢從 0V 升至+5.00V.。

2、數(shù)字顯示器 

       顯示器用來顯示流量，流量顯示的單位有“SCCM"、“SLM"、“%"三種。通常，流量顯示儀與 MFC（或 MFM）配套出廠時,將顯示器顯示的量值和單位與其對應(yīng)的 MFC（或 MFM）通道的量值和單位調(diào)整成一致。如果用戶訂貨時沒有注明 MFC（或 MFM）的流量規(guī)格，則出廠調(diào)整為按滿量程的百分比顯示，它與任何規(guī)格的 MFC（或 MFM）配合使用時，滿量程均顯示“100.0%"。在流量顯示儀的面板上，設(shè)計(jì)有流量單位指示燈，SCCM 或 SLM，如果兩個均不亮，則表示單位為%。

3、閥控開關(guān)

       帶流量調(diào)節(jié)、流量控制功能的流量顯示儀會帶有“閥控"開關(guān)。閥控開關(guān)有三個位置，正常工作時置于“閥控"位，需要通氣吹洗管路時，可選擇“清洗"位，停止使用時應(yīng)置于“關(guān)閉"位。

4、調(diào)零電位器

      面板上設(shè)計(jì)有外“調(diào)零"電位器，可以用來在小范圍內(nèi)調(diào)整MFC（或MFM）產(chǎn)品的零點(diǎn)。

5、多通道流量顯示儀

     可以一臺顯示儀同時接3、4臺 質(zhì)量流量控制器MFC 或 質(zhì)量流量計(jì)MFM。