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氣體或液體質(zhì)量流量計(jì)MFM及質(zhì)量流量控制器MFC主要涉及的三種原理

更新時(shí)間:2024-02-23      點(diǎn)擊次數(shù):2516

      目前市場上常用的氣體質(zhì)量流量計(jì)或質(zhì)量流量控制器主要基于三種基礎(chǔ)原理:1、熱式原理,2、差壓式原理,3、科里奧利原理。而液體則主要涉及差壓式原理和科里奧利原理,熱式原理較少用于液體。而常用于氣體的熱式原理又分為三類。簡單介紹如下:

      1、熱式原理又主要分為毛細(xì)管熱式,插入式熱式,以及微電子(MEMS流量芯片)熱式三種,雖然這三種熱式的結(jié)構(gòu)不同,但是原理都是用傳感器感知?dú)怏w帶走熱量多少換算出氣體的質(zhì)量流量。 

         在這三種熱式質(zhì)量流量計(jì)中,以毛細(xì)管熱式技術(shù)較常用,工況適應(yīng)性較強(qiáng),很多大的國際品牌均以此原理為主,例如bronkhorst布朗克斯特,horiba等,還有很多國產(chǎn)品牌也是毛細(xì)管熱式原理。

      2、壓差式,原理是利用泊肅葉定律來進(jìn)行補(bǔ)償計(jì)算,通過測量氣體或液體經(jīng)過某段管道內(nèi)前后的壓力差,計(jì)算得出氣體的體積流量,然后再換算到標(biāo)準(zhǔn)工況下流量。主要是以美國的Alicat艾里卡特等品牌為代表。(這里的壓差式指的主要是用于小管徑的小流量的應(yīng)用,不包括用于大管徑的孔板類差壓流量計(jì))。這種壓差式原理既適用于氣體也適用于液體,但是這種原理的耐壓性能比熱式的要差一些,所以一般壓力較高的場景,不建議使用壓差式原理。

       3、科里奧利原理質(zhì)量流量計(jì),其原理是當(dāng)流體流經(jīng)傳感器回路時(shí),由于科里奧利力引起可變相移,這種位移與流體的質(zhì)量成正比;實(shí)際上,科里奧利質(zhì)量流量計(jì)給出的流量數(shù)據(jù)是純粹的質(zhì)量流量,有較高的精確度,在實(shí)際應(yīng)用中更多被用于各種液體流量的測量與控制,或者不知道具體組分的混合氣體,以及超高壓氣體,或氣液混合的流體。        實(shí)際上任何產(chǎn)品原理只是使其具備某些優(yōu)異性能的一部分因素,而一臺(tái)氣體質(zhì)量流量計(jì)所具備的性能優(yōu)劣以及所能適應(yīng)的場景,還需要從硬件技術(shù)、軟件技術(shù)、制造經(jīng)驗(yàn)等多方面考慮;如過只是應(yīng)用了很好的原理,但是其它技術(shù)配合不夠理想,那么產(chǎn)品性能可能還不如用傳統(tǒng)原理做出的產(chǎn)品。

對(duì)于氣體、液體的質(zhì)量流量的測量或一體式自動(dòng)控制的相關(guān)儀表,可以咨詢頁面的行業(yè)經(jīng)理。



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