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40Mpa耐高壓氣體質(zhì)量流量計(jì)及流量控制器

更新時(shí)間:2024-07-05      點(diǎn)擊次數(shù):911

      大部分的質(zhì)量流量計(jì),流量控制器的耐壓程度在3Mpa或10Mpa左右,但是在一些應(yīng)用中需要更高的壓力,例如一些高壓縮氣體,高反應(yīng)釜。。。經(jīng)過我們多年的經(jīng)驗(yàn)及開發(fā)測試,目前,氣體質(zhì)量流量計(jì)、流量控制器可以做到40~60Mpa的高耐壓性能。具體參數(shù)如下:

       

量程范圍:2SCCM~100SLM

測控范圍:控制器閥控范圍50:1(流量計(jì)量程比100:1) 

準(zhǔn)確度 ±0.5%F.S(滿量程)

線性 ±0.25%F.S

重復(fù)精度 ±0.2%F.S

響應(yīng)時(shí)間 <0.2s <0.1s

溫度系數(shù) ±0.025%F.S/℃

工作溫度 0~50℃

預(yù)熱時(shí)間 30S可用,5Min達(dá)到最佳狀態(tài)

工作壓力 工作壓差:0.1~0.5Mpa(高壓差可定制) 工作壓降:<0.01Mpa

最大耐壓 20MPa~60Mpa

漏率1 x 10 Pa m3/S

底座材質(zhì)不銹鋼

接頭 φ8,φ10,φ12,卡套或法蘭安裝

密封材質(zhì) 氟橡膠,氯丁橡膠,丁腈橡膠,金屬密封

外殼防護(hù)等級 IP40

安裝位置 水平安裝

電氣連接 DB9孔, RJ11, 5.5×2.1電源快插

顯示狀態(tài) 帶液晶顯示、不帶液晶顯示

數(shù)字量 RS232/485,MODBUS協(xié)議,PROFIBUS協(xié)議

模擬量 0~5V、4-20mA、1~5V

供電 24VDC、±15VDC


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