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半導(dǎo)體設(shè)備電子氣體質(zhì)量流量計(jì)及流量控制器

簡(jiǎn)要描述:半導(dǎo)體設(shè)備電子氣體質(zhì)量流量計(jì)及流量控制器:
◆精度更高,響應(yīng)更快,帶網(wǎng)口;
◆管狀分流,不易堵塞;
◆適用于各種低壓和高壓管道;
◆預(yù)熱時(shí)間短,零漂小,可靠性高;
◆模擬量可使用二次表或流量計(jì)算機(jī)控制和顯示流量;
◆數(shù)字通訊RS485/232 Modbus、Profibus、Devicenet等協(xié)議可選。

  • 產(chǎn)品型號(hào):ACU20FDH
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2024-08-29
  • 訪  問  量:1913

詳細(xì)介紹

背景簡(jiǎn)述:

-- 半導(dǎo)體工業(yè)用的氣體統(tǒng)稱電子氣體。按其門類可分為純氣,高純氣和半導(dǎo)體特殊材料氣體三大類。特殊

材料氣體主要用于外延,摻雜和蝕刻工藝;高純氣體主要用作稀釋氣和運(yùn)載氣。

一、ACU20FD-LH 半導(dǎo)體設(shè)備電子氣體質(zhì)量流量計(jì)及流量控制器 產(chǎn)品概述:

1、精度更高,響應(yīng)更快,帶網(wǎng)口;

2、管狀分流,不易堵塞;

3、適用于各種低壓和高壓管道;

4、預(yù)熱時(shí)間短,零漂小,可靠性高;

5、模擬量輸入/輸出可使用二次表或流量計(jì)算機(jī)控制和顯示流量;

6、數(shù)字通訊RS485/232 Modbus、Profibus、Devicenet等協(xié)議可選;


二、產(chǎn)品應(yīng)用:

真空鍍膜 / 太陽能、氫能等新能源 / 半導(dǎo)體 / 石油石化精細(xì)化工 / 電力冶金 / 環(huán)保

食品包裝 / 生物醫(yī)藥 / 新材料 / 工業(yè)制作 / 各種分析儀器 / 制氣配氣系統(tǒng)


三、ACU20FD-LH 半導(dǎo)體設(shè)備電子氣體質(zhì)量流量計(jì)及流量控制器 產(chǎn)品參數(shù):

量程范圍:2SCCM~300SLM

準(zhǔn) 確  度:±0.5%F.S

線       性:±0.5%F.S

重復(fù)精度:±0.2%F.S

響應(yīng)時(shí)間:流量計(jì):<0.1s;流量控制器:<0.2s

數(shù) 字  量:RS232/485,MODBUS協(xié)議 (Profibus、Devicenet等協(xié)議可選)

模 擬  量:0~5V、4-20mA、1~5V

供       電:±15VDC,24VDC

工作溫度:0~50℃

工作壓降:<0.01Mpa(流量計(jì))

工作壓差:0.1~0.5Mpa (流量控制器)

耐       壓:3MPa/10MPa

漏       率:1×10-9SCCSHe

溫度系數(shù):±0.025%F.S/℃

底座材質(zhì):不銹鋼

封材質(zhì):氟橡膠,氯丁橡膠,丁腈橡膠,聚四氟乙烯,F(xiàn)FKM/FFPM,金屬密封等

接       頭:φ3,φ6,1/8",1/4",3/8",1/2"… …卡套、VCR等。。。

如果所需性能要求與上述性能不同,可以溝通定制。








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