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高精度前端后端腔體壓力控制器、壓力調(diào)節(jié)器

簡要描述:高精度前端后端腔體壓力控制器、壓力調(diào)節(jié)器:
-- ACU20P系列壓力控制器配備高性能傳感器和數(shù)字電路板,可提供更高精度和性能的壓力控制,
-- 通過調(diào)節(jié)設(shè)定值就能精準(zhǔn)的控制整個工藝過程,除了標(biāo)配的Modbus協(xié)議外,還支持Profibus協(xié)議。

  • 產(chǎn)品型號:ACU20PC-LH
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2024-10-31
  • 訪  問  量:1269

詳細(xì)介紹

一、ACU20P系列 高精度前端后端腔體壓力控制器、壓力調(diào)節(jié)器 產(chǎn)品特點:

-- 標(biāo)配一個壓力傳感器和數(shù)字電路板,提供高精度、快速穩(wěn)定、可靠的壓力控制,該P(yáng)C數(shù)字板具有控制壓力所需的所有功能。

-- 除了配備標(biāo)準(zhǔn)的RS485輸出信號,ACU20PCD還提供模擬量輸入/出信號,可通過調(diào)節(jié)設(shè)定值就能精準(zhǔn)的控制整個工藝過程。

-- 可裝配一體式控制閥或分體式控制閥。它是一種比例式電磁控制閥,具有超快和平穩(wěn)控制的特性。


二、應(yīng)用領(lǐng)域:

-- 半導(dǎo)體工藝,氣相和液相色譜儀,MOCVD過程中蒸汽壓力控制,擠塑成型過程中氣體壓力保護(hù)控制,高壓釜/反 應(yīng)釜壓力控制等。


三、ACU20P系列 高精度前端后端腔體壓力控制器、壓力調(diào)節(jié)器 產(chǎn)品參數(shù)列舉:

                                 (如所需性能與下述性能參數(shù)不同,請溝通定制。)

技術(shù)參數(shù)精度(包括線性和滯后性)≤±0.5%F.S
壓力量程比壓力計1:100
壓力控制器1:50
重復(fù)性≤0.1%
傳感器響應(yīng)時間0.2s
控制穩(wěn)定性≤±0.05%F.S(測定條件:1 L/min N2)
運(yùn)行溫度-10~+70℃
溫度敏感性0.1%FS/℃
漏率1×10-9 SCCS He
方位影響度
(90°變化)
<0.03 KPa(絕壓/表壓傳感器)
<0.6 KPa(差壓傳感器)
預(yù)熱時間忽略不計

機(jī)械部件材質(zhì)不銹鋼
工藝連接G3/8"
密封材質(zhì)氟橡膠/丁腈橡膠/氯丁橡膠/聚四氟乙烯/全氟/乙丙橡膠其他
防護(hù)等級(外殼)IP40

電氣特性電源15~24Vdc
數(shù)字輸出RS485/RS232、Profibus-DP協(xié)議、Devicenet協(xié)議等
電氣連接DB9




































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