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熱式高溫分體氣體質(zhì)量流量控制器及流量計(jì)

簡要描述:熱式高溫分體氣體質(zhì)量流量控制器及流量計(jì),采用定制的高速比例控制閥,可快速精確測量高溫氣體的質(zhì)量流量,可以以質(zhì)量單位或體積單位顯示流量值,精度0.5%FS。

  • 產(chǎn)品型號:ACU20FDH-LH
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2024-10-31
  • 訪  問  量:1433

詳細(xì)介紹

            一、熱式高溫分體氣體質(zhì)量流量控制器及流量計(jì)  產(chǎn)品概述

u 可快速精確測量高溫氣體的體積流量/質(zhì)量流量

u 采用定制的高速比例控制閥對介質(zhì)體積流量/質(zhì)量流量進(jìn)行精確的控制

u 超大可觸顯示屏,操作方便同時開放模擬輸入輸出和RS-485數(shù)字通訊

u 內(nèi)部無可移動組件和熱元件,通過抗振動測試,對安裝方向不敏感

u 采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流技術(shù),使得較大流量范圍下的高溫氣體仍舊保持層流運(yùn)動

u 可提供用戶支持,包括技術(shù)咨詢、快捷的設(shè)備校準(zhǔn)服務(wù)和有條件的終身質(zhì)保。

二、產(chǎn)品應(yīng)用:

       -- 廣泛應(yīng)用于眾多行業(yè)領(lǐng)域,如:工藝制造、沉積設(shè)備、配氣制氣等使用高溫干燥氣體的場景。

        -- 多變量測量以及50:1量程可調(diào)比,使得僅用一臺熱式高溫分體氣體質(zhì)量流量控制器或流量計(jì)便可取代多臺設(shè)備的功效。

       -- 精度0.5%FS、重復(fù)性0.5%及不到200毫秒的控制響應(yīng)時間,確保按工藝要求使高溫的過程氣體可以流暢的工作。


三、熱式高溫分體氣體質(zhì)量流量控制器及流量計(jì)  技術(shù)參數(shù)


技 術(shù)

指 標(biāo)

質(zhì)量流量控制器

質(zhì)量流量計(jì)

量程范圍

2SCCM~300SLM

精度

(調(diào)零后標(biāo)準(zhǔn)條件下)

±0.5%F·S(滿量程)

重復(fù)精度

±0.5%F·S

流量控制比

/測量范圍

2%~100%F·S/501

1%~100%F·S/1001

工作溫度

過流部分:(90~150℃),控制部分:0~70

漏率

2×10-9 Pa m3/S

機(jī) 械

部 件

最大工作壓力

3 MPa / 10MPa

密封材質(zhì)

氟橡膠、全氟醚、金屬密封

防護(hù)等級

IP40

底座材質(zhì)

不銹鋼

氣路接頭

φ6,φ8,φ10φ12,卡套、VCR

電 氣

   性 能

單色LCD顯示屏

同時顯示實(shí)時流量、設(shè)定流量

數(shù)字通訊

可選:RS232/485,Modbus協(xié)議、Profibus協(xié)議、DeviceNet協(xié)議

模擬輸入輸出信號

0~5VDC/4~20mA

電信號接口

B9, RJ11, 5.5×2.1電源快插

供電電壓

±15VDC24VDC











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