SF6氣體質(zhì)量流量控制器是基于流場動態(tài)計(jì)量技術(shù)，通過測量氣體密度和瞬時流量計(jì)算氣體的質(zhì)量流量，然后根據(jù)設(shè)定值調(diào)節(jié)流量控制閥門的開度，從而實(shí)現(xiàn)質(zhì)量流量的精確控制。 在SF6氣體質(zhì)量流量控制器中，氣體通過流量計(jì)進(jìn)入測量腔體，測量腔體中裝有傳感器，可以進(jìn)行壓力、溫度、流量、密度等參數(shù)的測量。這些參數(shù)直接影響了氣體密度的計(jì)算，而氣體密度的準(zhǔn)確計(jì)算是控制質(zhì)量流量的關(guān)鍵。測量系統(tǒng)完成數(shù)據(jù)采集和處理后，將流量信號送入放大器放大，放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較，再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。
SF6氣體質(zhì)量流量控制器的環(huán)境要求包括以下幾點(diǎn)：
1.溫度：SF6氣體質(zhì)量流量控制器的工作環(huán)境溫度應(yīng)保持在-20℃~50℃之間，避免溫度過高或過低對控制器的工作性能產(chǎn)生影響。
2.濕度：環(huán)境濕度應(yīng)保持在相對濕度≤90%RH，避免濕度過高導(dǎo)致控制器內(nèi)部結(jié)露，影響其正常工作。
3.清潔度：環(huán)境應(yīng)保持清潔，避免灰塵、雜質(zhì)等進(jìn)入控制器內(nèi)部，影響其正常工作。
4.通風(fēng)：如果工作環(huán)境中有大量SF6氣體，應(yīng)保持良好的通風(fēng)，避免氣體濃度過高導(dǎo)致中毒或爆炸等危險(xiǎn)。
5.避免振動：應(yīng)避免將控制器安裝在振動較大的環(huán)境中，以避免振動對其正常工作產(chǎn)生影響。
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